新型复合硅微传感器的设计 张文栋, 石云波 868 28428 5 免费

复合传感器; 压力传感器; 温度传感器 收藏

多位法误差分离技术的统一方程及可操作性 洪迈生, 蔡萍 2890 28388 6 免费

多位法; 权函数; 误差分离; 分离操作; 圆度 收藏

超精密工件在线直线度多传感器测量方法 李圣怡, 尹自强 3625 28579 5 免费

超精密; 直线度; 直线运动误差; 测量; 误差分离方法; 重构 收藏

玻璃微流控芯片的制作 罗怡, 娄志峰, 褚德南, 刘冲, 王立 786 29286 4 免费

微流控芯片; 湿法腐蚀; 热键合 收藏

多层共轭自适应光学的进展与展望 张晓芳, 俞信, 阎吉祥 891 28798 5 免费

多层共轭自适应光学; 超大型望远镜; 湍流分层; 波前畸变; 导星 收藏

体硅隧道加速度计 贾玉斌, 董海峰, 郝一龙 863 28808 3 免费

微机电系统; 隧道电流; 加速度计 收藏

燃料喷嘴口微孔的几何与表面表征(英文) 王伟立, 胡仕新 2331 28811 6 免费

扫描隧道显微镜; 原子力显微镜; 几何; 表面微孔 收藏

双光子三维微细加工的进展 袁大军, 蒋中伟, 徐藻, 郭锐, 王翔 692 29122 4 免费

双光子激发; 飞秒激光; 微细加工 收藏

纳米测量及纳米样板 蒋庄德, 景蔚萱 2236 29187 4 免费

计量学; 原子力显微镜; 纳米样板; 探针诱导阳极氧化; 机械划刻; 线宽; 直线度; 平行度 收藏

纳机电系统 胡小唐, 李源, 饶志军, 胡春光, 傅 1933 29673 7 免费

微机电系统; 纳机电系统; 纳米技术 收藏

MEMS光开关应用于机群系统光互连网络 张以谟, 井文才, 唐锋, 柳葆, 李海 1195 29330 7 免费

机群系统; 光互连网络接口卡; 路由; 微机电系统; 光互连 收藏

自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用(英文) 单学传, 前田龙太郎, 小林健, 张国雄 551 29237 6 免费

自敏感悬臂; 扫描原子力显微镜; 无损测量; 微镜; 微模 收藏

DHM-500超精密数控非球面透镜磨床的研制 张向阳 495 29626 5 免费

超精密磨床; 非球面透镜; 数控磨床; 液体静压主轴; 液体静压导轨; 全闭环反馈; 超精密车床 收藏

学术动态 2092 29514 2 免费

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使用SPM的纳米级加工技术新进展 袁哲俊 1561 29870 5 免费

扫描探针显微镜; 纳米级加工; 原子操纵 收藏