【摘要】在超精密加工中 ,用多测头方法测量工件直线度时 ,需要采用误差分离的方法分离出溜板的运动误差 ,并用一定的算法重构工件表面的直线度 .介绍了现有的各种算法 ,提出了两种新的无理论误差的精确算法以重构工件的直线度 .该算法适应于两点法或三点法测量长短工件 ,能评价任意 (包括光滑、非光滑、周期和非周期等 )表面 ,并允许采用大的测头间距 .仿真及实测结果表明了算法的优越性 ,并采用该方法对自研的大理石超精密机床的直线度进行了检测
【关键词】
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