CVD金刚石膜高效超精密抛光技术 苑泽伟, 金洙吉, 王坤, 温泉 1618 5517 8 免费

CVD金刚石膜; 化学机械抛光; 固结磨料; 机械抛光 收藏

基于电子束曝光的微区加热技术 孔祥东, 韩立, 初明璋, 薛虹 1832 5432 6 免费

电子束; 微区加热; 吸收能量密度; 剂量; 表面改性 收藏

支撑光学制造的几何量计量技术(英文) 戴高良, SCHULZ Michael, 692 5535 15 免费

几何量计量; 光学计量; 原子力显微镜; 面形计量; 微纳技术; 差分型激光束偏转; 可溯源多路传感器 收藏

自呼吸式微型直接甲醇燃料电池的设计与性能分析 张博, 张宇峰, 苑振宇, 张涛, 刘晓 1960 5657 4 免费

自呼吸; 直接甲醇燃料电池; 极板; 最高功率密度 收藏

基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文) 章海军, 赵冬伟, 伊福廷, 王波, 张 2882 5707 4 免费

光热微驱动器; 微加工; 微驱动; 动态特性; 激光 收藏

基于分子印迹技术的尿素仿生微传感器 任振兴, 边超, 薛茜男, 韩泾鸿, 夏 1617 5894 5 免费

分子印迹; 计时电流法; 微电极; 电化学聚合 收藏

水热法一步合成纳米/微米级ZnO球 徐爽, 孟庆辉, 程继航 3528 6052 4 免费

水热法; ZnO; 扫描电子显微镜 收藏

基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作 芮岳峰, 王亚军, 刘景全, 杨春生 4061 6094 5 免费

神经工程; MEMS; Parylene; 微电极阵列 收藏

新型摇摆质量微陀螺的设计与制作(英文) 王雄, 肖定邦, 周泽龙, 陈志华, 吴 464 6055 5 免费

摇摆质量陀螺; 微陀螺; 体微加工; 各向异性湿法腐蚀 收藏

一种避免静电黏附失效的低应力阳极键合技术 侯占强, 董培涛, 肖定邦, 吴学忠 1701 6148 5 免费

MEMS; 微机械加工; 阳极键合; 吸合电压 收藏

利用水溶性纳米线制备微纳流体系统(英文) 许胜勇, 吴修栋, 庄虔伟, 薛炯微, 3405 6210 5 免费

微纳流体; 纳米线; PDMS; SU-8 收藏

激光内径测量系统参数校正及算法优化 张福民, 曲兴华, 刘红轩 2251 6374 5 免费

激光三角扫描; 倾斜校正; 偏心误差; 最小平方中值; 最小二乘法 收藏

键合温度对PMMA电泳芯片电渗流的影响 刘媛媛, 刘晓为, 殷景华 2625 6423 3 免费

电泳芯片; 电渗流; PMMA; 热压键合 收藏

压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备 马剑强, 李保庆, 许晓慧, 褚家如 2677 6520 5 免费

微变形镜; 压电厚膜; 高刚度 收藏

纳米多孔光波导漏模共振传感器的折射率灵敏度分析(英文) 张喆, 祁志美 2299 6640 5 免费

纳米多孔; 漏模共振; 折射率灵敏度 收藏