基于ICP的金属钛深刻蚀 杨梅, 陈兢 3042 19427 4 免费

金属钛; 电感耦合等离子体源; 深刻蚀 收藏

MEMS显微干涉测量系统中相位提取算法的选择与分析 郭彤, 陈津平, 傅星, 胡小唐 1774 19379 4 免费

微机电系统; 相位提取算法; 误差分析; Hariharan算法 收藏

基于AFM的纳米级表面加工中切屑形成的影响因素(英文) 张华丽, 张飞虎, 杨帆, 闫永达 2621 19454 6 免费

纳米加工; 原子力显微镜; 扫描电子显微镜; 切屑形成 收藏

聚合物弹性印章的制作工艺 唐海林, 丁元萍 3013 19526 3 免费

软光刻技术; 弹性印章; 聚二甲基硅氧烷; SU-8胶印模 收藏

基于正交解调的脉搏波电阻抗谱测量方法 李刚, 卢宗武, 林凌, 石艳丽, 刘胜 2023 19663 5 免费

脉搏波; 阻抗谱; 正交解调; 无创检测 收藏

微纳米尺度下聚酰亚胺薄膜表面电荷的生成实验 赵慧斌, 韩立 2419 19656 5 免费

聚酰亚胺; 表面电荷; 扫描探针显微镜; 静电力显微镜 收藏

《纳米技术与精密工程》简介 2994 19542 1 免费

收藏

温度对金刚石刀具影响的理论模型和实验分析 董国军, 董申, 孙涛 657 19795 5 免费

金属反射镜; 金刚石车削; 热膨胀系数; 导温系数 收藏

CMP专用大粒径硅溶胶研磨料生长及控制机理 张建新, 刘玉岭, 张楷亮, 檀柏梅, 3434 19987 5 免费

硅溶胶; 大粒径; 生长机理; 甚大规模集成电路; 化学机械抛光 收藏

微细立铣削硬铝2A12表面粗糙度分析与预测(英文) 赵岩, 王波, 梁迎春, 朱黛茹 1941 19923 7 免费

表面粗糙度; 微细立铣削; 微型铣床 收藏

基于锆钛酸铅薄膜的变形镜微致动器 吴亚雷, 刘爽, 刘芳, 许晓慧, 文莉 1962 19825 4 免费

变形镜; 微致动器; 锆钛酸铅薄膜; 镍酸镧 收藏

新型惯性压电驱动机构的设计与初步实现 温建明, 程光明, 曾平, 张宏壮, 杨 1522 19954 4 免费

压电; 惯性; 动力学方程; 摩擦; 仿真 收藏

溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其光催化性能 潘吉浪, 尹荔松, 周克省, 高松华, 3734 20631 5 免费

ZnO薄膜; 光催化; 溶胶-凝胶; 偶氮胭脂红 收藏

基于旋转工件轮廓智能输入系统二维视图的三维重构技术 彭凯, 刘书桂, 张雪飞 587 19935 5 免费

旋转工件; 三维重构; 虚拟三坐标测量机; IGES 收藏

飞秒激光玻璃微加工技术 彭志农, 贾威, 王清月 3568 20614 4 免费

飞秒激光; 光学玻璃; 微加工 收藏