【摘要】介绍了一种新颖的扫描原子力显微 (SFM )方法 ,它可用于微机械垂直面的无损测量 ,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的 .除操作灵活外 ,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移 .因此 ,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微模插入物内壁等微结构的特征时可以精确定位 .本方法已成功地应用于测量微模长方形腔体的内壁和热压聚合物微镜的反射面 ,该微镜的尺寸是 5 0 0 μm (长 )× 10 0 μm(宽 )× 2 0 0 μm (高 ) .
【关键词】
全文来源于知网
光镊力谱系统双光束串扰因素研究
胡春光, 王国庆, 李宏斌, 胡晓东,
2017
32
7
￥:0
收藏
空中光电位姿测量系统的抗干扰方法
王向军, 吕博
2017
78
6
￥:0
收藏
1000～2500 nm宽波段的葡萄糖吸收光谱的测量波长优选
张紫杨, 孙迪, 刘冰洁, 孙翠迎, 刘
2017
193
6
￥:0
收藏
视频中运动电车电线的实时自动检测跟踪算法
刘见昕, 蒲灿, 柴晓飞, 孔昭松, 汪
2017
199
7
￥:0
收藏
防护热板法快速测量物质导热系数
索亚运, 李艳宁
2017
287
6
￥:0
收藏
