【摘要】扫描探针显微镜 (SPM )现在不仅用于表面微观形貌的检测 ,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵 .该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法 :针尖直接雕刻 ,针尖光刻加工 ,局部阳极氧化 ,原子沉积形成纳米点 ,原子去除形成沟槽微结构 ,多针尖加工 ,原子自组装形成三维结构等 .使用SPM的纳米级加工对发展微型机械、纳米电子学和微机电系统具有重要意义
【关键词】
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