【摘要】纳机电系统 (NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域 ,同时也是纳米技术的重要组成部分 .文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性 ,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用 .最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术 ,如微观效应的影响 ,NEMS加工技术 ,NEMS的设计、仿真和优化 ,NEMS器件的驱动与检测 ,NEMS器件与宏观世界的通讯等 .
【关键词】
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