一种基于光子晶体结构的新型MEMS红外光源 王国勋, 纪新明, 周嘉, 包宗明, 鲍 2341 22542 3 免费

表面等离子体共振; 微机电系统; 红外光源; 波峰强度; 反射率 收藏

基于LIGA工艺的横向变形MEMS定位机构设计 李华, 石庚辰 1428 22506 4 免费

定位机构; LIGA工艺; 镍; 弹性模量 收藏

基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术 夏豪杰, 费业泰, 范光照, 程方 1414 22915 4 免费

二维光栅; 位移测量; 干涉 收藏

BOE溶液腐蚀PN结N型区域现象 王慧泉, 金仲和, 李铁, 马慧莲, 王 441 22765 3 免费

选择性腐蚀; BOE溶液; PN结; 硅纳米线 收藏

模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用 朱神渺, 杜立群, 刘冲, 喻立川, 王 1778 22705 4 免费

SU-8胶; 内应力; 正交实验; BP神经网络 收藏

FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性 赖西湖, 徐军, 吴文刚, 经光银, 郝 2844 23013 4 免费

聚焦离子束; 纳米螺旋; 纳机电系统 收藏

薄膜制备中的微蚀孔问题 李博, 徐晨, 宋义超, 沈光地 3449 22996 4 免费

浓硼重掺杂硅薄膜; 深刻蚀; 微蚀孔 收藏

基于X光光刻的亚波长光栅 李以贵, 杉山进 2880 23128 4 免费

亚波长光栅; X光光刻; 高深宽比 收藏

亚波长金属光栅偏振器设计 孟凡涛, 褚金奎, 韩志涛, 赵开春 2252 23774 4 免费

亚波长光栅; 金属光栅偏振器; 严格耦合波理论; 等效介质理论 收藏

激励功率对微机械谐振梁谐振频率的影响 樊尚春, 汪彩霞 3701 23417 4 免费

谐振梁; 激励功率; 谐振频率 收藏

基于应力集中的压阻式微悬臂梁设计(英文) 梅德庆, 汪延成, 陈子辰 1490 23481 4 免费

微悬臂梁; 压阻效应; 应力集中区域; 有限元分析; 灵敏度 收藏

可靠性预计模型 熊继军, 高健飞, 郭涛, 范波 2958 23696 4 免费

微加速度计; 可靠性; 预计模型; 失效率 收藏

振动式压电发电机的理论模型与实验 贺学锋, 温志渝, 温中泉, 尚正国, 3870 24168 4 免费

能量获取; 压电发电机; 悬臂梁; 理论模型 收藏

微间距平板Poiseuille流动的稳定性 尤学一, 郑敬茹 1849 23919 4 免费

黏性修正; 边界滑移; 流动稳定性; 微流动; 平板Poiseuille流动 收藏

微注射成形聚丙烯微阵列填充与形态结构 卢振, 张凯锋 3090 24051 4 免费

微注射成形; 微阵列; 表芯结构; 球晶 收藏