【摘要】对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析,选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式.根据少装配原则与满足MEMS整体系统性能要求相平衡的设计思想,将MEMS定位机构和基座分开设计.选择金属镍作为定位机构材料,用LIGA工艺成功制备出定位机构的原理样机和镍标准样条.在24℃和25%相对湿度的条件下,利用微型硬度测试仪对标准样条5个不同部位的点进行测量,测得材料镍的弹性模量为219GPa.列出了滑块运动的微分方程并进行求解,求解结果表明,滑块能够可靠运动到位并被定位机构可靠卡住.离心实验表明定位机构可靠地卡住了滑块,验证了理论分析和方案设计的可行性.
【关键词】
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