【摘要】对谐振式微机械传感器的敏感元件——微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究,并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响.实验结果表明,谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小,当激励功率从1.1 mW提高到10.1 mW时,谐振梁的谐振频率降低了1.609 kHz,灵敏度为0.179 kHz/mW.实验结论与理论分析的结果基本一致.若要使激励功率对谐振频率的影响减小,则要求降低激励功率并减小梁的长度,增大梁的厚度和宽度.上述研究结论对优化谐振式微机械传感器敏感元件结构尺寸的设计有指导意义.
【关键词】
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