【摘要】为了提高应力检测的灵敏度,提出了一种基于应力集中的新型压阻式微悬臂梁设计方法.首先,通过在硅基悬臂梁上加工出一些条缝结构作为应力集中区域,利用应力集中效应来提高应力检测的灵敏度,并在梁上沿硅的(100)面<110>晶向布置4个压阻元件组成惠斯通电桥来进行应力检测.其次,用有限元法分析了不同参数的孔缝结构对应力分布的影响.结果表明,与传统的无应力集中区域的微悬臂梁结构相比,可以有效提高应力检测的灵敏度.当参数优化后的微悬臂梁尺寸为500μm×180μm×10μm,缝结构尺寸为50μm×20μm时,应力检测的灵敏度可以提高2.68倍.
【关键词】
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