基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征 马龙, 郭彤, 赵健, 徐临燕, 陈津平 1382 8192 5 免费

微机电系统(MEMS); 白光相移干涉; Carré相移算法; 标准台阶 收藏

三维Laguerre模型的外存式增量算法及可视化技术 李俊琛, 李旭东, 盛捷 3067 8093 8 免费

外存式增量算法; Laguerre模型; 微观组织结构; 仿真 收藏

基于钽酸锂晶体薄片的红外探测器设计及应用 谭秋林, 张文栋, 刘俊, 薛晨阳, 熊 2648 8278 5 免费

钽酸锂; 晶体薄片; 红外吸收; 气体传感器 收藏

面向微量试剂分配的压电叠堆泵 孔祥冰, 陈立国, 邵超, 刘德利, 曲 3192 8223 6 免费

微量试剂分配; 压电驱动; 压电叠堆泵 收藏

多光程长测量高散射物质浓度 林凌, 李靖瑶, 李刚 3726 8161 5 免费

多光程长; 定量分析; NIR; 偏最小二乘法 收藏

超疏水Ti6Al4V表面的制备及其润湿性 连峰, 张会臣, 庞连云, 李杰 2830 8546 5 免费

钛合金; 激光加工; 自组装分子膜; 超疏水 收藏

稿约 426 8166 1 免费

收藏

桥式射频MEMS开关上电极薄膜的残余应力改进模型 陈俊收, 尤政, 李滨 663 8335 5 免费

MEMS开关; 两端固支梁; 薄膜; 残余应力 收藏

带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计 伍康, 叶雄英, 陈烽, 刘力涛, 周兆 492 8336 5 免费

微加速度计; 光栅; 干涉; 力反馈; 三明治 收藏

趋势预测1/8周期快速寻北法 董桂梅, 冯莉, 林玉池, 高用辉, 齐 1098 8338 5 免费

陀螺经纬仪; 1/8周期; 趋势预测; 曲线拟合 收藏

刀具对中误差对离轴抛物面镜慢刀伺服车削加工的影响 关朝亮, 戴一帆, 尹自强 671 8541 6 免费

慢刀伺服; 离轴抛物面; 刀具对中误差; 仿真 收藏

基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文) 杨振川, 吕佳楠, 闫桂珍, 陈敬 1207 8748 5 免费

干法刻蚀; 氮化镓(GaN); MEMS 收藏

微细槽的电化学铣削加工 陈辉, 王玉魁, 王振龙, 赵万生 2946 8799 6 免费

电化学铣削; 微细槽; 微小型腔; 超短脉冲电压 收藏

基于MEMS的分散式低阶AHPRS系统设计 郭剑东, 宋彦国, 夏品奇 1134 8721 7 免费

误差四元数; 姿态估计; 卡尔曼滤波; 姿态航向位置参考系统(AHPRS) 收藏

收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试 褚金奎, 李涛, 韩冰峰, 熊叶胜 1230 9036 5 免费

微电源; 压电悬臂梁; MEMS; PZT 收藏