无源压力传感器Q值对信号传输性能的影响(英文) 熊继军, 杨芳, 梁庭, 牛坤旺, 李叶 726 2448 5 免费

无源压力传感器; 无线信号传输; Q值; 天线 收藏

动力调谐陀螺锁定回路解耦控制一体化设计 李醒飞, 杨光, 赵建远, 王佳 1266 2488 6 免费

系统辨识; 解耦; 单独通道设计; 自回归模型; 对角控制器 收藏

与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析 王艳春, 黄庆安, 聂萌, 余辉洋 1076 2681 5 免费

MEMS牺牲层; 电容式气压传感器; CMOS标准工艺; MEMS后处理工艺 收藏

基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法(英文) 曾涛, 石庚辰, 张兵, 王禛, 王倩倩 2200 2581 7 免费

MEMS; 高度在线检测; 激光光切法; 图像检测 收藏

原子力声显微镜成像及分析 陈宇航, 郑成, 杨春来, 黄文浩 1490 2830 5 免费

声学检测; 原子力显微镜; 轻敲模式; 刚度 收藏

三维微柱阵列电极的电化学性能(英文) 王晓峰, 李翔宇, 陈学坤, 周扬, 尤 1006 2758 6 免费

MEMS; 微能源; 三维微柱阵列电极; 氧化钌; 比电容 收藏

探针阵列诱导构建三维电纺纳米纤维结构分析(英文) 吴德志, 胡兴旺, 黄翔宇, 王凌云, 2800 2849 5 免费

三维纳米纤维结构; 探针阵列; 辅助电压; 静电纺丝 收藏

基于粒子滤波的液态场环境声源定位方法 徐耀松, 李一博, 靳世久 2915 2931 5 免费

声发射; 定位; 粒子滤波; 到达时间差; 广义互相关 收藏

离子注入氧化锌纳米晶体光致发光特性(英文) HARRIMAN T A, HILDEB 445 2999 5 免费

氧化锌; 离子注入; 缺陷; 光致发光 收藏

微流控芯片微沟道的超声压印制作 罗怡, 王良江, 祁娜, 王晓东 719 3111 6 免费

微流控芯片; 超声波压印; 正交实验 收藏

新型基于离子注入技术的用于微池芯片的微加热器(英文) 聂金泉, 赵玉龙, 刘亦敏, 彭年才 529 3113 5 免费

微加热器; 热循环特性; 离子注入技术; 功耗; PCR 收藏

五腔串联压电泵的设计制作与试验 王淑云, 阚君武, 沈黄桥, 傅骏翔, 577 3278 6 免费

压电泵; 压电振子; 多腔串联 收藏

基于表面等离子共振GGBP胺耦合绑定的葡萄糖浓度测量影响因素 伍鹏, 栗大超, 杨佳, 朱芮, 徐可欣 3521 3213 6 免费

表面等离子共振(SPR); D-半乳糖/D-葡萄糖结合蛋白(GGBP); 胺耦合; 选择性测量; 影响因素 收藏

压电驱动MEMS光学扫描镜的研制 王敏锐, 李文翔, 徐征 3520 3516 5 免费

MEMS; 光学扫描; 微镜; 体硅工艺; 压电陶瓷; 微装配 收藏

一维大行程高分辨率纳米定位平台的设计与性能测试(英文) 荣伟彬, 吴振广, 孙立宁 3185 3499 6 免费

纳米定位; 柔性铰链; 大行程; 高分辨率; 压电陶瓷驱动 收藏