压电式二维微动工作台的迟滞补偿与解耦控制 陈远晟, 裘进浩, 季宏丽 1857 761 9 免费

微动工作台; 迟滞耦合; Prandtl-Ishlinskii模型; 复合控制 收藏

叶片精密抛光伺服系统的干扰观测补偿控制 赵鹏兵, 史耀耀 1367 768 8 免费

叶片抛光; 定位精度; 干扰观测器; 粒子群优化; 模糊PID控制 收藏

非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建 王起维, 董申, 孙涛, 韩成顺, Sh 2572 873 10 免费

非球面检测; 非零位检测; 横向剪切干涉检测; 波前重建; 面形加工误差 收藏

基于组织液超滤提取的MEMS血糖检测传感器 刘亚欣, 姚玉峰, 黄博, 钟鸣 1171 906 9 免费

血糖检测; 组织液; MEMS; 传感器 收藏

基于针尖诱导的静电纺丝实验分析(英文) 孙道恒, 黄翔宇, 邱小椿, 胡兴旺, 2101 919 4 免费

静电纺丝; 针尖诱导; 纳米纤维; 高产量 收藏

稿约 2745 793 1 免费

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低变形镍模具微电铸加工的工艺优化(英文) 刘冲, 柯学, 李经民, 段亚杰 3961 970 6 免费

微电铸; 镍模具; 低变形; 工艺优化 收藏

压电液压隔振器的能量回收特性分析与测试 阚君武, 徐海龙, 王淑云, 王鸿云, 3138 1157 6 免费

隔振器; 压电液压; 能量回收 收藏

阻抗谱芯片用于人眼小梁网细胞分析(英文) 顾雯雯, 赵毅 2974 1111 6 免费

阻抗谱; 叉指式电极; 人眼小梁网; 开角型青光眼 收藏

用扩散理论解释激光选择性催化的原理(英文) 张阳, Hansen HansNφrga 2741 398 8 免费

激光选择性催化; 选择性电镀; 多孔介质扩散; 多孔性 收藏

扩大分度盘加工齿坯齿数范围的精密磨齿工艺 凌四营, 娄志峰, 王立鼎, 马勇, 翟 1926 522 6 免费

分度盘; 齿距偏差; 分度精度; 差动进给; 精密磨齿 收藏

利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装 陈继超, 赵湛, 杜利东, 刘启民, 肖 2355 718 5 免费

共晶键合; 气密封装; 银锡焊片 收藏

Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光学特性 房东玉, 李朝玲, 李轩, 戚雯, 姚琲 2043 885 6 免费

ZnO薄膜; Mg-Al共掺杂; 溶胶-凝胶法; 光致发光谱; 缺陷能级 收藏

MEMS仿生矢量水听器优化设计 刘林仙, 张国军, 张文栋 3170 759 5 免费

矢量水听器; MEMS; 纤毛; 光纤; 半油半酯 收藏

稿约 3595 679 1 免费

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