【摘要】采用超高真空化学气相淀积系统制备了小尺寸、高密度、纵向自对准的Ge量子点 .通过TEM和AFM对埋层和上层量子点的形貌和尺寸分布进行了研究 ,对生长的温度和时间进行了优化 .采用硼预淀积的方法得到了尺寸分布小于 3 %的均匀的圆顶形Ge量子点 .采用低温光荧光测量了多层量子点的光学特性 .在 10K的PL谱可以观察到明显的蓝移现象 ,表明量子点中较强的量子限制效应 .量子点非声子峰的半高宽约为 46meV ,表明采用UHV/CVD工艺生长的多层量子点具有较窄的尺寸分布 .
【关键词】
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