【摘要】介绍了一台具有国际发明专利的新型仪器———多功能机械摩擦显微仪 (TPM ) .TPM可用于检测微纳米级工程表面的机械和摩擦性能 .其特点是在一次扫描中可同时检测以下四项功能参数 :表面轮廓、表面摩擦、表面纳硬度和表面弹性模量 .由于TPM基于点阵扫描 ,因此所测得的四项参数在空间和时间上是相关的 .TPM是一种可变力触针式扫描仪 .表面接触力由一个永久磁铁和线圈加力装置控制 ,加力范围为 0 .0 1~ 3 0mN .扫描平台范围为 10 0 μm× 10 0 μm ,该范围通过闭环控制具有纳米级精确度 .表面轮廓的范围为 2 0 μm并具有 0 .1nm的分辨力 .TPM已经用于各
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