【摘要】研究了相移干涉轮廓仪干涉图处理的相位提取算法和相位去包裹算法.提出区分像素点的四步相位提取算法,该算法有效地消除了环境噪声,降低了相移误差的影响,同时具有广泛的实用性.为了验证该算法,首先检测一标准台阶面,测得台阶高度的平均测量误差为1.600;然后以插入光纤的光纤连接器端面的三维轮廓为对象进行了实际检测,测得光纤端面与连接器端面高度差平均值为45.7nm,平均测量误差为200.测得光纤端面上一污点高度为23.6nm,平均测量误差为300.
【关键词】
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