【摘要】用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动．结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差源是定位误差．尽管对于单轴实时位置反馈来说,光栅尺的测量精度已经足够, 但是两个方向光栅尺的测量数据不能反映两轴间的相对精度．通过对光栅尺和球杆仪测量的工作台走圆运动测量数据的分析,建立了测量系统的数学模型,在此基础上解耦并识别出了球杆仪和光栅尺的定位误差．提出了根据光栅尺倾角误差实现工作台精度调整的策略．
【关键词】
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