【摘要】给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置．该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC 单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成．而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体 (PZT)驱动器构成．压电陶瓷晶体(PZT)驱动器可对与切削量相对应的金刚石工具的Z向位置进行高速控制,从而实现加工复杂表面形状的目的．加工中的切削力是反映切削进程的重要指标,可由联结于FTC单元的高灵敏度力传感器进行测量．比对了用于联结力传感器和FTC单元的两种设计方法．
【关键词】
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