【摘要】品质因数(Q值)是影响微悬臂梁设备灵敏度的关键因素.针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数从181提高至871.实验表明,使用数字正反馈电路后,微悬臂梁振幅随其工作频率的变化表现出了更高的灵敏度, 从而能有效提高微悬臂梁用于微小形变检测时的检测灵敏度.
【关键词】
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