【摘要】由于传统参比电极的大尺寸及液接盐桥的存在,限制了ISFET向着小型化、集成化方向发展．研制了一种采用0．35μm标准CMOS工艺制造的,集ISFET/REFET及其信号检测、处理电路于一体的生化SOC(system on chip)．REFET是该生化SOC采用差分测试方法省略参比电极的关键．介绍了几种有机物材料作为钝化膜的RE- FET．分析比较了各种制备REFET钝化膜的工艺特点及膜的功能特点．实验结果表明,以PTFE为钝化膜的REFET对pH的响应可达到0．39 mV/pH,这表明PTFE膜是一种较为理想的pH钝化材料．
【关键词】
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