【摘要】微泵是微全分析系统中的重要单元.为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题,研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵.一种是将聚二甲基硅氧烷(PDMS)泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵,另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵,这两种微泵都适用于气体和液体工作物质,实现自吸,具有结构简单、易于加工及操作方便的特点.讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响,解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题.在电压100V(35Hz条件下)和零背压的工作条件下,单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL/min,最大背压为5kPa;主动阀与被动阀相结
【关键词】
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