【摘要】硅微机械加工的梁、桥和板是微纳器件的基本结构;杨氏模量是描述力学性能的基本参数.用半连续方法计算了不同厚度的(001)硅纳米板沿[100]方向和[110]方向的应变能,并由此得到了两个方向上的杨氏模量.结果表明,沿[100]和[110]方向的硅纳米板杨氏模量均随着板厚度的减小而减小,并且减小的趋势随着板厚度的减小越来越明显.当板厚度逐渐增加超过50 nm时,两个方向上的杨氏模量均趋于定值,且都接近体硅的值.
【关键词】
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