【摘要】从滑条式静磁微执行器的模型出发,应用静磁微执行器的pull-in方程,分析了滑条式静磁微执行器的pull-in现象,用磁动势控制模型和力学平衡两种方式得出了执行器的吸合位置及吸合时的磁动势.对于特定的滑条式磁微执行器结构,pull-in位置为初始气隙宽度的1/3处.算例计算结果表明,该静磁微执行器的pull-in磁动势仅为3.84A.
【关键词】
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