【摘要】利用原电池法在硅片表面制备了纳米多孔硅层;用扫描电镜SEM和原子力显微镜AFM观察了多孔硅表面形貌原电池法与电化学法得到的多孔硅孔径均在10~20nm范围.研究结果表明铂膜电极厚度的增大以及铂膜电极与暴露硅片面积比的增大,会导致多孔硅层的厚度增大.热学模拟结果表明以纳米多孔硅作为绝热层可获得与悬浮结构相同的效果.
【关键词】
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