【摘要】为研究纳米梁的力学特性,采用SOI晶圆制备了硅双端固支梁纳米梁,利用典型的原子力显微镜(AFM)弯曲测试方法测试了硅纳米梁〈100〉晶向的杨氏模量.AFM悬臂探针定位在纳米梁的中点处向下移动,纳米梁受到挤压发生弹性形变,形变过程存在一个最大形变点,在该点后,纳米梁被挤压在SOI硅片底层硅上.最大形变前的测试数据用于计算力-位移曲线斜率,最大形变后的测试数据用于计算探针的灵敏度,其实验值分别为0.792N/m和81.83nm/V.最终得到的杨氏模量为104GPa,该值小于体硅的杨氏模量,表面应力和缺陷可能是导致实验值偏小的原因.
【关键词】
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