【摘要】在微结构动态特性的检测中引入块匹配技术和光流技术.结合微结构的运动特性,分别提出了基于块匹配技术和基于光流技术的两种微结构二维运动估计算法.利用这两种二维运动估计算法对平面微谐振器做动态特性分析,均取得了较好的测量结果.对这两种二维运动估计算法在微谐振器动态特性中的测量应用做比较,结果表明:块匹配算法适合简单的平移运动测量,计算量小,但它要求被测器件在结构上有较为特殊或显著的运动特征区域;光流算法通过分析单个像素的灰度分布特性来测量被测器件的运动特性.与块匹配法相比,它并不要求被测器件有较为特殊的运动特征结构.由于光流法以单个像素为计算单位,且其中包含有较多的差分计算,计算过程较为复杂
【关键词】
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