【摘要】设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子体从针尖处的纳米孔导出,以实现高精度、高效率的无掩膜扫描刻蚀加工.设计了该悬臂梁探针的加工工艺流程,即对(100)硅片进行各向异性湿法刻蚀得到倒金字塔槽,并双面氧化,然后依次沉积并图形化微放电器的上、下电极和绝缘层,最后背面释放出带空心针尖的SiO2悬臂梁,并加工出针尖尖端的纳米孔.成功制作出质量良好、具有很高成品率的带薄壁空心针尖的SiO2悬臂梁探针阵列及倒金字塔型微放电器.实验结果表明,该微放电器能在3~15 kPa的SF6气体中稳定放电,为悬臂梁探针阵列和
【关键词】
全文来源于知网
光镊力谱系统双光束串扰因素研究 胡春光, 王国庆, 李宏斌, 胡晓东, 2017 32 7 ¥:0
收藏
空中光电位姿测量系统的抗干扰方法 王向军, 吕博 2017 78 6 ¥:0
收藏
1000~2500 nm宽波段的葡萄糖吸收光谱的测量波长优选 张紫杨, 孙迪, 刘冰洁, 孙翠迎, 刘 2017 193 6 ¥:0
收藏
视频中运动电车电线的实时自动检测跟踪算法 刘见昕, 蒲灿, 柴晓飞, 孔昭松, 汪 2017 199 7 ¥:0
收藏
防护热板法快速测量物质导热系数 索亚运, 李艳宁 2017 287 6 ¥:0
收藏