【摘要】为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析.综合两类微泵特点,提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案.在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵.实验结果表明,该微泵可用于气体和液体介质,气、液体的最大流量分别达到53.6mL/min和1 280μL/min;泵腔高度影响到微泵的体积压缩比,是影响微泵自吸的一
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