【摘要】原子力显微镜(AFM)是进行纳米材料力学特性(如材料黏弹性)测量的重要工具.压电陶瓷驱动器作为AFM的核心部件,由于其迟滞和蠕变特性的影响,致使在材料黏弹性纳米测量过程中,不仅测量速度慢,而且测量误差较大.为了解决以上问题,提出一种基于逆的迭代学习控制方法.通过在频域内学习系统的动态特性,补偿AFM的z轴动态误差,从而实现AFM系统的快速准确定位.该方法不仅避免了复杂的AFM系统建模过程,而且提高了系统输出对期望输入的跟踪精度.用美国DI公司的纳米原位测量仪对聚二甲基硅氧烷(PDMS)的纳米黏弹性进行了测量,验证了算法的适用性和有效性.
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