【摘要】提出一种新型静电式振动能量收集器,该器件采用基于聚四氟乙烯体材料驻极体的双面电晕驻极结构,提高了薄膜驻极体静电式振动能量收集器的输出功率.在电晕驻极栅网电压为-700 V的条件下,体材料驻极体的上下表面分别获得了-564.0 V±83.1 V、-636.4 V±69.7 V的表面电位均值.采用组装方式制成器件,并在正弦激振条件下测试器件的输出性能.实验结果表明,在振动频率10 Hz、峰值加速度1.2g的条件下,器件输出峰值功率达到30μW,平均功率达到5.5μW,优于目前多数薄膜驻极体器件的性能,接近低功耗传感器的实际功率要求.
【关键词】
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