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基于单幅扫描电镜图像的三维重建技术(英文)

【摘要】本文提出了一种对黑硅表面进行三维重建的方法.通过对扫描电子显微镜的成像原理进行建模,该方法可以只使用单幅从黑硅表面正上方垂直向下拍摄的扫描电子显微镜图像获得黑硅表面的三维信息.该方法简单易行.本文对这一方法进行了重建测试.测试结果表明该方法能够获得比较理想的重建效果.

【关键词】

5531 5页 纳米技术与精密工程 2013年6期 免费 王琦琦, 朱福运, 孙明竹, 张海霞,

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