【摘要】微接触印刷(μCP)是一种能在微纳米尺度上完成表面图案化的技术,主要特点是高效和低成本.研究了μCP过程中印章机械特性和印刷压力对形成的微图案质量的影响.为了进一步分析聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作的印章特性,浇注了5种配比的PDMS试样,并进行了单轴拉伸和压缩试验,获得了其应力应变关系.制作了3种配比的表面线型图案印章,实施微接触印刷使其印刷压强在1 kPa~1 MPa.通过图形化分析对最终的微接触印刷质量进行评估.实验结果表明:最优的压强区间为20~200 kPa.较小的压力将会产生印章与基底的间隙,而较大的压力将会导致印章的严重变形.由于质量比为20∶1的PDMS印章的弹性模量最
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