【摘要】基于原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的关键尺寸(critical dimension,CD)测量技术可有效测量MEMS结构的侧壁形貌和线宽,针对CD-AFM的关键共性技术之一提出了一种三维图像拼接方法,旨在把结构正表面图像和侧壁图像拼接成为一幅完整的三维图像.通过旋转样品的方式,利用AFM扫描结构形貌,分别得到其正表面和侧壁的扫描图像.在两幅图像的重叠区域进行图像预处理和快速图像相关匹配,可准确获取图像匹配点.随后,对侧壁扫描图像进行逐列翻转、切割、旋转和拼接等操作,最终可得到结构的三维形貌图像.采用C++语言编写的算法对AFM获得的实际扫描图像进
【关键词】
全文来源于知网
光镊力谱系统双光束串扰因素研究 胡春光, 王国庆, 李宏斌, 胡晓东, 2017 32 7 ¥:0
收藏
空中光电位姿测量系统的抗干扰方法 王向军, 吕博 2017 78 6 ¥:0
收藏
1000~2500 nm宽波段的葡萄糖吸收光谱的测量波长优选 张紫杨, 孙迪, 刘冰洁, 孙翠迎, 刘 2017 193 6 ¥:0
收藏
视频中运动电车电线的实时自动检测跟踪算法 刘见昕, 蒲灿, 柴晓飞, 孔昭松, 汪 2017 199 7 ¥:0
收藏
防护热板法快速测量物质导热系数 索亚运, 李艳宁 2017 287 6 ¥:0
收藏