【摘要】针对流式细胞成像的应用需求,设计了一维压电扫描振镜并进行了性能测试.该振镜利用微铰链梁将压电片的伸缩振动转化为反射面的旋转振动.首先,通过有限元仿真对压电振镜进行结构建模和性能分析,得到了振镜的工作模态以及扫描频率和最大扫描角度随结构尺寸的变化关系.接着,制备了由压电片和硅片基底组成的振镜样机.最后,利用角度测量系统对振镜的扫描特性和频响特性进行了测试.实验结果表明:2 mm×2 mm的反射面在12Vpp的电压驱动下可在谐振频率10.034 k Hz处产生14°的扫描角度,在5.2Vpp的电压驱动21.26 k Hz的高频谐振下,仍可以产生3.35°的扫描角度.振镜样机Q值达865,扫
【关键词】
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