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高刚度气体静压导轨设计分析

【摘要】采用有限差分法求解气体静压润滑的二维Reynolds方程,其静态特性规律显示减小节流孔径可以提高气体静压导轨刚度,但是减小了气膜最佳工作间隙,对节流面的面形精度提出了更高的要求.采用直径50μm的节流孔,在50 mm×50 mm的滑块上实现了50 N/μm的最大刚度,并且试验结果与理论计算基本一致,从工程上验证了减小节流孔径实现高刚度的可行性.根据理论分析优化了导轨上滑块的节流孔的布局,设计了基于直径50μm节流孔的高刚度气体静压导轨;直径50μm节流孔对应的气膜工作间隙为5~7μm.采用光学加工的方法研制了基于光学材料(K9玻璃)的气体静压导轨,其良好的面形精度满足了小间隙气膜的润滑

【关键词】

2162 7页 纳米技术与精密工程 2016年1期 免费 陈小刚, 彭小强, 铁贵鹏, 关朝亮,

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