【摘要】为了实现超精密车削温度的在线测量,本文研究了一种基于薄膜热电偶的测量瞬态切削温度的方法.以切削刀具的刀尖作为镀制薄膜的基底,通过磁控溅射方法制备了Si O2绝缘薄膜和Ni Cr/Ni Si薄膜电极,制成了带有测温传感器并且可以进行超精密车削加工的PCBN刀具.文中对该薄膜热电偶温度传感器进行了标定,得到其塞贝克系数并采用该刀具对PMMA材料进行了超精密车削加工实验,实验结果表明该方法能够有效地测量出加工过程中的瞬态切削温度.
【关键词】
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