【摘要】MEMS离心机构是MEMS安全保险机构中一种新的解锁机构.利用力学分析、动量定理和动能定理推导出离心滑块推力的计算公式,ADAMS仿真验证了公式的合理性.利用ADAMS仿真,确定转轴到基板对称轴的水平距离r为2.28 mm以及拔销器与离心滑块的间隙与转销与离心滑块的间隙相等,能够满足设计需要的转销不回复、离心滑块对转销的推力最大且离心滑块能运动到位.对采用LIGA工艺加工完成的离心机构进行模拟实验,验证了设计的合理性.
【关键词】
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