刘永波 王悦身份证：320721199305060238 身份证：150202199304050320 江苏南京 210000摘要：近年来微波技术在通信、雷达、电子信息对抗等众多领域中得到了广泛的应用。微波功率是表征微波信号的一个重要参数，微波功率的检测在信号的产生、传输和接收过程中是必不可少的。基于微机电系统（ＭＥＭＳ）的热电式微波功率传感器因其线性度好、灵敏度高、且不需要偏置电源等优点而在工业生产中被广泛使用。研究人员通过构思新的结构、建立相关模型研究热电式ＭＥＭＳ微波功率传感器，并优化其性能。关键词：微波功率模块；固态放大器；行波管引言宽带高功率微波（HPM）是一种介于超宽带高功率微波和
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