任国栋新疆维吾尔自治区特种设备检验研究院乌鲁木齐 830011摘要：本文通过对汽化器泄露分析，得出氯硅烷的介质的失效模式，并提供了关于失效分析的基本思路，提出了使用过程中的注意事项，为今后使用单位的生产安全提供了技术支持。关键词：汽化器；泄露；氯硅烷 失效模式汽化塔汽化器是用来将塔内的氯硅烷加热到蒸气态，然后由塔顶经T903分离后输送到三氯氢硅和四氯化硅相应的储罐中，进行下一步的工艺合成。汽化器E922与汽化塔T903是连通器，上下封头及换热管里面充满氯硅烷，壳程外面的蒸汽对管程内部的物料进行加热，加热后的物料以气态的形式由汽化塔上封头出口输出到精馏塔T904，气态的氯硅烷通过精馏塔T904进
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