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磁控溅射法制备钼薄膜的研究现状

杨康(中国空空导弹研究,河南 洛阳 471000)摘要:薄膜是一种薄而软的透明薄片,用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。由于组成材料的不同,薄膜有很多种,有塑料薄膜、尼龙薄膜、超导薄膜等等,被广泛应用于电子电器、机械、印刷等行业,为行业发展提供了基础材料。随着现代科技的飞速发展,社会各个领域都得到了长足的发展,对薄膜的性能与应用也提出了新的要求,薄膜质量的好坏与应用与制作薄膜材料的物理性能、结构和薄膜成分有莫大的关联,直接决定薄膜是否能应用于实际生产生活中。在实际应用中,发生磨损经常是导致薄膜无法继续使用的主要原因之一,金属钼具有良好的耐热性,在工业领域,应用磁控溅射法制备钼薄膜能够最大程度减

【关键词】

173 装备·技术 2020年5期 免费 杨康

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