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P-ITO膜成膜过程中O2分压对ITO膜质的影响

【摘要】文章研究了在实际生产过程中,真空磁控溅射设备下制备ITO膜时,高温成膜过程中环境中的氧气分压对ITO薄膜的光电特性的影响。P-ITO指的是结晶状态的ITO膜,在高温环境下ITO膜成膜工艺,也就是常说的高温成膜工艺,在成膜过程中结晶,通过调整成膜过程中O2的分压制备所需的ITO膜。

【关键词】

3862 0页 现代显示 2012年4期 免费 赵杨 , 吴东起(韩) , 高雪松

全文来源于知网

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