【摘要】用闭空间升华法制备CdTe薄膜。研究了衬底材料，基片温度对膜微结构的影响。衬底温度在400℃以上薄膜结晶状况较为完整。结晶状况较好的CdS薄膜生长的CdTe薄膜晶粒较大，尺寸均匀。在CdTe膜面涂敷CdCl2甲醇溶液，呵促进热处理过程中薄膜晶粒的长大。
【关键词】
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