【摘要】对磁控溅射法在YBa2Cu3O7-δ缓冲层及SrTiO3(001)衬底上生长的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜材料,应用X射线散射倒空间作图法研究了薄膜在垂直(a⊥)和平行(a||)于表面方向的晶格常数与其厚度的关系。研究结果表明,随着PZT厚度的增加,a⊥增加,而a||减小。这种晶格常数的变化,不能用一般的薄膜弹性畸变来解释,我们归结为晶体的尺寸效应起了很大的作用。X射线衍射的测量结果表明,随着PZT厚度的增加,其晶粒尺寸也增加。
【关键词】
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北京同步辐射装置—3B1A束线,光刻实验站和LIGA实验站 伊福廷 2000 10 0 ¥:0
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北京同步辐射装置—高压衍射实验站 刘景 2000 53 0 ¥:0
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