【摘要】本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展,其中,最细尺寸已达50纳米。
【关键词】
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北京同步辐射装置—3B1A束线,光刻实验站和LIGA实验站 伊福廷 2000 10 0 ¥:0
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北京同步辐射装置—高压衍射实验站 刘景 2000 53 0 ¥:0
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北京同步辐射装置—4W1B束线和XAFS实验站 谢亚宁 2000 132 0 ¥:0
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北京同步辐射装置—4W1C束线和漫散射实验站 贾全杰 2000 233 0 ¥:0
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北京同步辐射装置—3B1B光束线和VUV光谱实验站 陶冶 2000 335 0 ¥:0
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